Sistema de Microscopía Industrial de Infrarrojo Cercano NIR-MX Sunny Optical Technology

La serie NIR-MX comprende los modelos NIR-MX68R y NIR-MX12R, que se distinguen por la platina, según el fabricante. El fabricante la presenta para la inspección de cristal de silicio y de lingotes (crystal brick), la inspección y el empaquetado de obleas y la generación fotovoltaica, y para campos como la comunicación óptica, el empaquetado avanzado y la fabricación de obleas, donde se necesita ver el interior del chip. Sus imágenes de ejemplo muestran defectos de sustrato en obleas de silicio y de telururo de cadmio (CdTe), grietas ocultas y defectos de InGaAs, y defectos en módulos solares.

Los objetivos disponibles son planos semiapocromáticos de infrarrojo (NIR) de 5X, 10X, 20X y 50X, con corrección de aberraciones desde la luz visible hasta el infrarrojo cercano, para campo claro convencional. Su apertura numérica es de 0,15 (5X), 0,3 (10X), 0,45 (20X) y 0,7 (50X), y su distancia de trabajo, de 19,5 mm (5X), 12,2 mm (10X), 7,31–7,57 mm (20X) y 2,68–2,93 mm (50X). En los objetivos de alto aumento, de mayor apertura numérica, un anillo de corrección compensa las aberraciones que causan los distintos espesores de la cubierta.

El iluminador de reflexión NIR tiene un interruptor para pasar de campo claro a infrarrojo cercano, diafragma de apertura eléctrico variable con centrado ajustable, ranura para filtros de color y lámpara halógena de 12 V y 100 W. Hay filtros de paso de banda de 1.100, 1.200 y 1.300 nm, y el fabricante muestra imágenes de ejemplo adquiridas en esas tres bandas. Según el fabricante, la iluminación de campo amplio y la detección por matriz de área dan un amplio espectro y un campo de visión grande.

El cabezal trinocular de infrarrojo cercano se inclina 30°, da imagen derecha, tiene distancia interpupilar de 50 a 76 mm y relación de división de luz de 100:0 o 0:100. Hay oculares planos de gran campo y punto ocular alto, PL10X/22 mm y PL10X/23 mm, con ajuste dióptrico y opción de micrómetro. El estativo de reflexión tiene enfoque coaxial en posición baja, con recorrido grueso de 35 mm, precisión fina de 0,001 mm, tope superior y ajuste de tensión, y un sistema de voltaje amplio integrado de 100 a 240 V. El revólver es séxtuple, motorizado y con ranura para DIC (contraste diferencial de interferencia).

Según el fabricante, el NIR-MX68R admite platinas de 8 o de 6 pulgadas y el NIR-MX12R, una de 12 × 14 pulgadas, todas mecánicas de tres capas, con manija de embrague para el desplazamiento rápido, placa metálica para reflexión y platina giratoria con disco para obleas. La de 8 pulgadas mide 525 × 330 mm, recorre 210 × 210 mm y sirve para obleas de 6 y 8 pulgadas. La de 6 pulgadas mide 445 × 240 mm, recorre 158 × 158 mm en reflexión y 100 × 100 mm en transmisión, y sirve para obleas de 4, 5 y 6 pulgadas. La de 12 × 14 pulgadas mide 420 × 718 mm, recorre 305 × 356 mm, suma una placa de vidrio para transmisión y reflexión y sirve para obleas de 6, 8 y 12 pulgadas.

Hay cámaras NIR monocromas de 1,3 megapíxeles (400–1.700 nm; 125 fps a 1.280 × 1.024; píxel de 5 µm) y de 3,2 megapíxeles (400–1.100 nm; 120 fps a 2.064 × 1.544; píxel de 3,45 µm), con adaptadores de montura C de 0,35X, 0,5X, 0,65X y 1X. El software de imagen MV reúne módulos de gestión, medición, adquisición de imágenes y gestión de capas, con una función de realce de imagen infrarroja, y puede personalizarse según el cliente. El fabricante presenta también un software de IA de desarrollo propio que identifica defectos de forma automática, con funciones de aprendizaje, captura y estadísticas de conteo. Los accesorios infrarrojos son modulares y, según el fabricante, pueden equiparse en otros microscopios metalúrgicos y sistemas de inspección de obleas de la empresa; se listan además un micrómetro de alta precisión y un computador.