Sistema de Inspección de Obleas AWL Sunny Optical Technology
La serie AWL de Sunny Optical Technology es un sistema de inspección de obleas (wafers) para procesos de semiconductores, con inspección macro y micro integrada, manejo automático de obleas y microscopio metalúrgico con campo claro, campo oscuro, polarización y DIC. Se ofrece en los modelos AWL046 y AWL068 (obleas de 100 a 200 mm) y AWL812 (obleas de 200 y 300 mm, con sistema EFEM).
Descripción
La serie AWL de Sunny Optical Technology es un sistema de inspección de obleas para procesos de semiconductores, donde el manejo automático de obleas, la inspección macro y micro integrada y la comunicación con la planta pesan más que en un microscopio de laboratorio.
Tres modelos, obleas de 100 a 300 mm
AWL046 (100 y 150 mm), AWL068 (150 y 200 mm) y AWL812 (200 y 300 mm, con puertos de carga FOUP, FOSB, Smif Pod o casete abierto).
Macro y micro en un mismo sistema
Inspección macro de cara frontal y posterior con palanca remota, y microscopio metalúrgico de 50X a 1.000X con campo claro, campo oscuro, polarización y DIC.
Comunicación y fiabilidad
Protocolo SECS/GEM hacia sistemas MES, lector OCR de oblea, certificación SEMI S2, sistema de vacío y mecanismo de enclavamiento.
Por qué comprarlo con Micromédica
Sunny Optical Technology — grupo chino (Yuyao, 1984). Sus microscopios los fabrica Ningbo Sunny Instrument Co., Ltd. (desde 1991), con certificación ISO 13485 de dispositivos médicos, ISO 9001 e ISO 14001, y envíos a más de 130 países.
| Marca | Sunny Optical Technology |
|---|---|
| Modelo | Serie AWL (AWL046, AWL068, AWL812) |
| Modelos | AWL046 · AWL068 · AWL812 (versiones MS, AS y RAS) |
| Tamaño de oblea | AWL046: 100/150 mm · AWL068: 150/200 mm · AWL812: 200/300 mm |
| Tipo de casete | AWL046/068: casete abierto, Smif Pod · AWL812: FOUP, FOSB/Smif Pod, casete abierto |
| Funciones de inspección | Macro cara frontal (rotación), macro cara posterior 1 (anillo exterior, rotación) y macro cara posterior 2 (centro) |
| Prealineación | Óptica sin contacto de plano y muesca (orientaciones de 0°, 90°, 180° y 270° en AWL046/068) |
| Sistema óptico | Infinito con corrección de aberraciones, aumento 50X–1.000X |
| Modos de observación | Campo claro, campo oscuro, polarización y DIC |
| Objetivos | Semiapocromáticos metalográficos de larga distancia de trabajo, campo claro/oscuro, 5X/10X/20X/50X/100X |
| Microscopio aplicable | AWL046/068: SOPTOP MX68R · AWL812: SOPTOP MX12R (MS) y MX12RL (AS, RAS) |
| Revólver | Campo claro/oscuro de 6 posiciones, eléctrico, con ranura DIC |
| Comunicación de datos | Protocolo SECS/GEM, lector OCR de oblea |
| Alimentación | AWL046/068: 1P, 220 V, 10 A · AWL812: monofásica 220 V, 50 Hz, 16 A (MS, AS) o 32 A (RAS) |
| Dimensiones (Ancho × Fondo × Alto) | AWL046: 1450 × 700 × 1600 mm · AWL068: 1550 × 700 × 1600 mm · AWL812: 2400 × 1400 × 2350 mm (1 puerto) o 2400 × 2050 × 2350 mm (2 puertos) |
La serie AWL de Sunny Optical Technology ofrece soluciones de inspección óptica para procesos de semiconductores. Combina manejo automático de obleas, prealineación óptica sin contacto, inspección macro y micro integrada, y un software de análisis de imagen propio. Estos son los criterios que conviene revisar antes de decidir la compra.
Modelos y tamaños de oblea
El AWL046 trabaja con obleas de 100 y 150 mm, y el AWL068 con obleas de 150 y 200 mm, ambos con casete abierto o Smif Pod. El espesor mínimo de oblea es de 150 µm en el AWL046 y de 150 o 180 µm en el AWL068. El AWL812, en versiones MS, AS y RAS, trabaja con obleas de 200 y 300 mm (espesor de 250 a 1.000 µm y de 300 a 1.000 µm), con FOUP, FOSB/Smif Pod o casete abierto, y con uno o dos puertos de carga según la versión.
Manejo de obleas: EFEM y prealineación
El puerto de carga avanzado abre y cierra las tapas FOUP y puede incluir lector de código de barras y RFID, e identifica casetes FOUP, FOSB y casete abierto. Un sistema óptico de alta precisión escanea las obleas capa por capa, detecta obleas inclinadas o desalineadas y emite alarma ante estados anormales. La prealineación ubica de forma óptica y sin contacto el centro y la muesca o el plano de la oblea, y admite obleas de Si, SiC, EMC y vidrio; en los AWL046 y AWL068 la orientación se ajusta a 0°, 90°, 180° y 270°.
Inspección macro y micro integrada
Con un módulo de inspección macro versátil y una palanca de control remoto, permite inspección macro de campo completo desde varios ángulos: cara frontal (con rotación), cara posterior 1 (anillo exterior, con rotación) y cara posterior 2 (centro). En micro, el microscopio metalúrgico trabaja de 50X a 1.000X con campo claro, campo oscuro, polarización y DIC, revólver eléctrico de seis posiciones con ranura DIC. La serie admite además convertidor, diafragma de apertura, platina y eje Z eléctricos, conmutación campo claro/campo oscuro y autoenfoque.
Software y comunicación con la planta
El software de procesamiento de imagen de Sunny Instruments (versión 3.0) incluye enfoque automático, control de fuente de luz, módulo de medición, gestión de biblioteca de imágenes, fusión de profundidad, conteo de partículas, unión de imágenes, vista 3D y medición 3D, en inglés y chino, compatible con Windows de 64 bits y microscopios de la serie MX. El sistema admite el protocolo SECS/GEM para comunicarse con sistemas MES y otros, y cuenta con lector OCR de oblea.
Fiabilidad
La serie AWL superó la certificación SEMI S2 y cuenta con sistema de mantenimiento de vacío, mecanismo de enclavamiento y UPS (fuente de alimentación ininterrumpida; en el AWL812 es accesorio opcional). El sistema es compatible con dispositivos de protección ante cortes de energía que permiten mantener en operación el computador industrial durante 15 minutos para guardar los datos.
Vea también la línea completa de microscopios de Micromédica.
